测试方法的不同:微孔孔径分析,理论模型一般使用的是贬碍法、厂贵法,及顿贵罢法。介孔、大孔孔径分析,理论模型一般使用的是叠闯贬法。硬件上的不同:微孔孔径分析,需要二级涡轮分子泵,氮气相对压力P/P0才能够达到10-7-10-8的要求,才能实现超微孔(0.35nm-0.7nm)的分析;同时,需要小量程、高精度压力传感器(10 torr、1 torr或0.1 torr)的合理使用。介孔、大孔孔径分析,仅需要机械泵及1000 torr大量程压力传感器即可实现。
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